ब्रूक्स साधन ब्लॉग

ब्रूक्स अपनी GF श्रृंखला जन प्रवाह नियंत्रकों के अगले दौर का अनावरण किया गया है. हमारे GF120 जन प्रवाह नियंत्रकों अब एक सुरक्षित वितरण प्रणाली के साथ आते हैं. (एसडीएस ®).

GF120 एसडीएस एक बूंद के कम दबाव जन प्रवाह नियंत्रक कि उप वायुमंडलीय अनुसूचित जातियों प्रत्यारोपण में प्रयुक्त गैसों और खोदना प्रक्रियाओं देता है. वे पूर्ण पैमाने पर प्रवाह पर्वतमाला में उपलब्ध हैं 4 तक 25 SCCM (GF120XSL) या >25 करने के लिए SCCM 1 slpm (GF120XSD).

उप वायुमंडलीय गैसों SCD के एक ठोस मध्यम पर गैस सिलेंडर के भीतर adsorbed के हैं. वे नीचे करने के लिए युक्त बावजूद वायुमंडलीय दबाव रहेगा 15 पारंपरिक दबाव स्रोतों से अधिक dopant बार. अधिकांश जन प्रवाह नियंत्रकों की जरूरत है एक 50 Torr प्रवाह की दर में अंतर दबाव 5 SCCM. लेकिन उस दर पर, केवल के बारे में 65 dopant का प्रतिशत सामान्य ऑपरेटिंग तापमान पर निकाला जा सकता है.

GF120 एसडीएस आपरेशन सक्षम बनाता है कम दबाव 30 निकाला जा dopant के अधिक प्रतिशत. यह एसडीएस गैसों और उपकरण में लागत बचत बढ़ जाती है.

GF120 एसडीएस के बारे में अधिक जानकारी के लिए, यहाँ क्लिक करें.