How Low Can You Go? Dans pression qui est.
Conçu pour semi-conducteurs, MOCVD, et d'autres applications de contrôle de flux de gaz qui nécessitent une pureté élevée trajet d'écoulement tout en métal, Brooks GF100 contrôleurs de débit massique de la série offrir des performances exceptionnelles, fiabilité, et la flexibilité. Faits saillants des caractéristiques de l'industrie de la série GF100 plus importants sont le: ultra-rapide 300 milliseconde le temps de stabilisation, Multiflo ™ de gaz et la programmabilité gamme, insensibilité de pression en option transitoire (PTI), affichage local, extrêmement faible surface mouillée, et résistant à la corrosion Hastelloy ® et tube du capteur de siège de soupape.
GF120XSD est une extension de Brooks GF100 Série messe familiale contrôleur thermique d'écoulement (MFC). Conçu pour un fonctionnement à faible pression extrême, l'GF120XSD a été optimisé pour la livraison précise de la valeur élevée, des gaz à faible pression de spécialité. Lire la suite…
