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Conçu pour semi-conducteurs, MOCVD, et d'autres applications de contrôle de flux de gaz qui nécessitent une pureté élevée trajet d'écoulement tout en métal, Brooks GF100 contrôleurs de débit massique de la série offrir des performances exceptionnelles, fiabilité, et la flexibilité. Faits saillants des caractéristiques de l'industrie de la série GF100 plus importants sont le: ultra-rapide 300 milliseconde le temps de stabilisation, Multiflo ™ de gaz et la programmabilité gamme, insensibilité de pression en option transitoire (PTI), affichage local, extrêmement faible surface mouillée, et résistant à la corrosion Hastelloy ® et tube du capteur de siège de soupape.

GF120XSD est une extension de Brooks GF100 Série messe familiale contrôleur thermique d'écoulement (MFC). Conçu pour un fonctionnement à faible pression extrême, l'GF120XSD a été optimisé pour la livraison précise de la valeur élevée, des gaz à faible pression de spécialité.

Au coeur de régulateur de débit massique est le capteur de débit qui se compose de deux enroulements à température contrôlée autour d'un tube capillaire mince paroi. Tant que le débit passe à travers le tube (dans un rapport précis à l'écoulement principal de gaz à travers le corps du MFC), les molécules de gaz évacuer la chaleur dans le tube de capteur de la première zone chauffée, élever la température dans la seconde zone chauffée. Le changement de température est directement proportionnelle au débit massique du gaz dans le tube. En raison de l'échantillonnage précis (ou de division d'écoulement) la sortie du capteur est proportionnelle au débit total de gaz s'écoulant à travers l'instrument. Comme l'ID tube du capteur est généralement très faible (0.010″ ID), et par le fait que les vannes de commande nécessite une chute de pression pour le contrôle stables, régulateur de débit massique est généralement besoin d'une pression différentielle de 5-10 psid à conduire le gaz à travers l'appareil.

En fabrication microélectronique, un large éventail de gaz sont utilisés, y compris des gaz hautement toxiques pour les processus de l'implant et le dépôt. Pour une manipulation sans danger, ces gaz sont souvent contenus dans des bouteilles spéciales qui peuvent contenir de grandes quantités de gaz toxique dans les sous pressions atmosphériques. Cela simplifie le transport, manutention et la livraison du gaz, mais crée des défis pour les régulateurs de débit massique utilisés pour contrôler avec précision le débit de gaz de la chambre de traitement. Comme le gaz est consommé la pression chute, causant des défis importants pour traditionnels régulateurs de débit massique qui nécessitent une pression différentielle relativement élevée pour entraîner l'écoulement à travers le dispositif.

Le GF120XSD Brooks utilise un alésage grandes, faible chute de pression du capteur de débit thermique. En augmentant la conductance du capteur de débit, moins de pression est nécessaire pour séparer le gaz de mesure pour la mesure. Combiné avec une valve de contrôle de haute précision Stoke afin de réduire davantage la chute de pression, l'GF120XSD permet de contrôler précisément d'écoulement avec <1/100^e d'une atmosphère de pression d'entrée (et la pression de sortie de vide).

Cette opération très basse pression, il est possible d'utiliser autant que 90% des gaz à effet de précieuses basse pression processus spécialisés, a ~ 40% amélioration par rapport classiques contrôleurs de débit massique.

Dans une récente qualification OEM, l'GF120XSD démontré une meilleure précision et stabilité de l'écoulement à des pressions très faibles, avec le temps la stabilisation du débit réduit de secondes par rapport aux générations précédentes de contrôleurs Brooks basse pression de débit massique, améliorer encore l'efficacité de l'utilisation du gaz.