Aquí, en Brooks, nos estamos preparando para un gran viaje - a Shanghai! Por primera vez, vamos a estar presente en SEMICON China desde marzo 19-21. Estamos compartiendo cabina 5505 con nuestro valioso socio SCH Electronics, y esperamos presentar nuestros soluciones de alto rendimiento para el flujo digitales, vacío y medición de la presión.
Pero la gran noticia es que Brooks será el lanzamiento de la revolucionaria GF135 presión transitoria insensible controlador de flujo másico (MFC) en SEMICON China,. El GF135 mejora el rendimiento y tiempo de actividad de los fabricantes de semiconductores en tiempo real integral de la velocidad de decaimiento de medida y avanzadas capacidades de diagnóstico. Estos diagnósticos permiten a los usuarios verificar la exactitud, válvula de retención de fugas por desplazamiento del sensor y controlar sin detener la producción. El MFC proporciona una precisión líder en el mercado actual de gas de proceso y flujo ultra-rápido tiempo de estabilización para la reducción del tiempo ciclo del proceso. Leer más…
Intersolar North America está a la vuelta de la esquina, y Brooks se creación de la tienda en el stand 5648 (Julio 10-12, San Francisco). Estamos introduciendo dos nuevos productos que tendrán un gran impacto en la industria solar y de semiconductores.
Lo primero es el manómetro de capacitancia XacTorr CMX0, que es parte de la Brooks XacTorr CMX de la familia de los manómetros de capacitancia. Estos instrumentos proporcionan a los fabricantes de semiconductores y energía solar, con mediciones muy estables y repetibles para los procesos sensibles a la presión. El CMX0 XacTorr ofrece a los usuarios:
• Una opción que no tenga calefacción a gran escala va desde 1,000 Torr a 100 mTorr
• Precisión de la 0.25% de lectura
• Sustituto
• Las características únicas de diagnóstico para el mantenimiento preventivo como el seguimiento resto del rango de ajuste del cero para permitir el mantenimiento programado, la reducción de interrupciones no planificadas.
También daremos a conocer las actualizaciones de comunicación a la GF40/80, nuestra altamente modular, programable por el usuario controlador de flujo de masa diseñado para los procesos solares de película delgada y.
El GF40/80 está ahora equipado con EtherCAT, una red altamente flexible protocolo que ha sido adoptado por los fabricantes de vanguardia en la industria solar y la microelectrónica. Un principio único llamado "proceso sobre la marcha" ofrece algunas ventajas únicas EtherCAT. Dado que los mensajes EtherCAT se pasan antes de ser procesados en cada nodo, EtherCAT opera a una velocidad alta y la eficiencia. El proceso también crea flexibilidad en la topología y la sincronización increíble lo que facilita el control de flujo de red y otros dispositivos para el control avanzado de procesos y capacidades de diagnóstico.
Esperamos que pasar por aquí y decir hola. Y, como muestra de agradecimiento para la previsualización de una demo de nuestros nuevos productos, obtendrá una gratis 4GB unidad USB en la forma de un controlador de flujo másico, por supuesto. También puede consultar las últimas noticias acerca de Intersolar North America aquí.
Diseñado para semiconductores, MOCVD, y otras aplicaciones de control de flujo de gas que requieren una alta pureza de metal trayectoria de flujo, el Brooks GF100 de la serie controladores de flujo másico ofrecer un rendimiento excepcional, confiabilidad, y la flexibilidad. Aspectos destacados de las características de la industria de la serie GF100 principales incluyen: ultra rápido 300 milisegundos el tiempo de establecimiento, Multiflo ™ de gas y capacidad de programación amplia, falta de sensibilidad de presión transitoria opcional (PTI), pantalla local, extremadamente bajo la superficie de superficie mojada, y resistente a la corrosión del tubo sensor de Hastelloy ® y el asiento de la válvula.
GF120XSD es una extensión de Brooks GF100 familia de la Serie masa térmica controlador de flujo (MFC). Diseñado para una operación extrema baja presión, la GF120XSD ha sido optimizado para la entrega precisa de un alto valor, gases de bajo presión de la especialidad. Leer más…
Estamos orgullosos de anunciar que Brooks es el beneficiario de otro premio de este año. La 2011 Premio a la Innovación de la revista Control de flujo de gas se une a nuestro Premio de Oro y los Premios Readers 'Choice de control a principios de este año. Leer más…
