¿Hasta dónde puede ir? En la presión que se.
Diseñado para semiconductores, MOCVD, y otras aplicaciones de control de flujo de gas que requieren una alta pureza de metal trayectoria de flujo, el Brooks GF100 de la serie controladores de flujo másico ofrecer un rendimiento excepcional, confiabilidad, y la flexibilidad. Aspectos destacados de las características de la industria de la serie GF100 principales incluyen: ultra rápido 300 milisegundos el tiempo de establecimiento, Multiflo ™ de gas y capacidad de programación amplia, falta de sensibilidad de presión transitoria opcional (PTI), pantalla local, extremadamente bajo la superficie de superficie mojada, y resistente a la corrosión del tubo sensor de Hastelloy ® y el asiento de la válvula.
GF120XSD es una extensión de Brooks GF100 familia de la Serie masa térmica controlador de flujo (MFC). Diseñado para una operación extrema baja presión, la GF120XSD ha sido optimizado para la entrega precisa de un alto valor, gases de bajo presión de la especialidad. Leer más…
