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Konzipiert für Halbleiter, MOCVD, und andere Gasflusskontrolle Anwendungen, die eine hohe Reinheit Ganzmetall-Strömungsbahn erfordern, die Brooks GF100 Serie Mass Flow Controllern bieten eine herausragende Leistung, Zuverlässigkeit, und Flexibilität. Highlights der GF100-Reihe branchenführenden Funktionen gehören: ultra-schnelle 300 ms Ansprechzeit, MultiFlo ™ Bereich Gas-und Programmierbarkeit, optional Druck transiente Unempfindlichkeit (PTI), lokale Anzeige, extrem geringe benetzte Oberfläche, und korrosionsbeständige Hastelloy ® Fühlerrohr und Ventilsitz.

GF120XSD ist eine Erweiterung von Brooks GF100 Serie Thermal Massenflussregler Familie (MFC). Entwickelt für extreme Niederdruck Betrieb, die GF120XSD wurde für die präzise Lieferung von hochwertigen optimiert, Niederdruck-Spezialgase.

Im Herzen des Massendurchflussregler ist der Durchflusssensor, der aus zwei Wicklungen besteht temperaturgesteuerten Umgebung von einem dünnwandigen Kapillarröhre. Wie Durchfluss wird durch das Rohr (in einem genauen Verhältnis zur Hauptströmungsrichtung des Gases durch den Körper des MFC), die Gasmoleküle tragen Sie die Wärme Fühlerrohr aus der ersten beheizten Zone, Erhöhen der Temperatur in der zweiten Heizzone. Die Änderung der Temperatur ist direkt proportional zu dem Massendurchsatz des Gases in dem Rohr. Aufgrund der genauen Probenahme (oder Flow-Splitting) der Sensor ist proportional zu der Gesamtflussrate des Gases, welches durch das Instrument. Da der Sensor Röhren-ID ist typischerweise sehr klein (0.010″ Identifikation), und aufgrund der Tatsache, dass einige Steuerventile Druckabfall für eine stabile Regelung erfordern, Massendurchflussregler ist in der Regel eine Differenzdruck 5-10 psid, um das Gas durch die Vorrichtung anzutreiben.

In mikroelektronischen Fertigung, eine breite Palette von Gasen einschließlich hochgiftige Gase für die Implantat-und Abscheideprozess verwendet. Für den sicheren Umgang, Diese Gase werden häufig in der Spezialchemie Zylinder, die große Mengen des giftigen Gases bei sub Atmosphärendruck halten kann enthalten. Dies vereinfacht den Transport, Handhabung und Zufuhr des Gases, sondern schafft Herausforderungen für den Mass Flow Controllern verwendet werden, um präzise zu steuern den Fluss von Gas in die Prozeßkammer. Wenn das Gas verbraucht wird der Druck abfällt, was zu erheblichen Herausforderungen an die traditionellen Mass Flow Controller, die einen relativ hohen Differenzdruck, um den Fluss durch das Gerät geleitet werden müssen.

Der Brooks GF120XSD nutzt eine große Bohrung, geringer Druckabfall thermische Sensor. Durch Erhöhen der Leitfähigkeit der Durchflusssensor, weniger Druck benötigt wird zur Abspaltung der Gasprobe für die Messung. Kombiniert mit einer hohen Stoke Feinregelventil zur weiteren Minimierung des Druckabfalls, die GF120XSD präzise Ablaufsteuerung mit <1/100^th von einer Atmosphäre der Eingangsdruck (Vakuum-und Ausgangsdruck).

Diese sehr niedrigen Druck Betrieb macht es möglich, so viel wie nutzen 90% der wertvollen Niederdruck Spezialität Prozessgase, a ~ 40% Verbesserung gegenüber herkömmlichen Mass Flow Controllern.

In einer aktuellen OEM-Qualifizierung, die GF120XSD demonstriert höchste Genauigkeit und Stabilität des Stromflusses bei sehr niedrigen Drücken, mit Durchfluss Stabilisierungszeit von Sekunden im Vergleich zu früheren Generationen von Brooks Niederdruck-Mass Flow Controllern reduziert, weitere Verbesserung der Effizienz der Gasverbrauch.