우리 트로피 케이스에 또 다른 수상
우리는 브룩스 올해 또 다른 수상의 수신자는 것을 발표 자랑스러워. The 2011 혁신 상 흐름 제어 잡지에서 올해부터 우리 골든 가스 상 및 제어 독자 초이스 어워드 조인.
우리를위한 브룩스을 인정 혁신 상 GF 시리즈 열 질량 유량 컨트롤러. 이들은 고도로 모듈화입니다, 사용자 프로그래밍 가능, 첨단 반도체와 박막 공정을위한 초고 순도 장치. GF 시리즈는 고객이 구별 과도 압력 브룩스 '전문성에 따라 가스 line.The GF 시리즈 빌드에서 질량 유량 컨트롤러를 제거 비용없이 새로운 가스 교정 및 전체 스케일 범위를 선택할 수있는 기능을 제공함으로써 대량 흐름 업계 변경되었습니다 (PTI) 때문에 압력 및 온도 변동에 공정 가스 유량 편차를 최소화하여 기술. 우리는 소유 비용 절감에 대한 유지 보수를 줄이기 위해 임베디드 진단 및 자동화된 구획과 장기적인 안정성을 위해 설계.
우리는 흐름 제어의 이노베이션 어워드는 반도체 산업에 우리의 기여를 위해 브룩 스를 인정 것을 영광스럽게 생각하며.
