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GF40 Series Elastomer Sealed Thermal Gas Mass Flow Controllers & Meters

하나의 장치. Multiple Gas 와 유량. 최고의 유연성.
하나의 장치로 여러 가스를 제어 할 수 있으면 공정 유연성과 생산성이 극대화됩니다. Brooks Instrument의 MultiFlo™ 독점 기술이 적용된 GF40 시리즈 질량 유량 제어기 및 계측기는 다양한 가스를 사용하거나 가스 유형을 자주 변경하거나 가스측정 및 제어 정확도를 유지하면서 재조정해야 하는 시스템, 공정 및 시설을 위한 완벽한 선택입니다. 이는 그 동안 볼 수 없었던 유체 측정 및 제어 성능과 결합된 새로운 수준의 공정 유연성을 제공합니다.

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가격 정보:

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GF40 시리즈 데이터 시트

특징

  • 프로그래밍 가능한 Multi-Gas/Multi-Range 기능
  • 보정 기능 사용을 위한 수천 가지의 천연가스를 지원하는 Brooks® MultiFlo™ 가스 데이터베이스
  • 까다로운 응용 분야를 위한 1초 미만의 유량 반응 시간과 1%의 Setpoint 정확도
  • >다양한 가스에 적합&
  • 빠른 응답의 Hastelloy 센서
  • Tool Communication 과는 별개로 쉽게 액세스할 수 있는 진단 서비스 포트
  • DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus®, RS-485 아날로그 인터페이스를 포함한 다중 프로토콜 통신 옵션

장점

  • MultiFlo™ 기술을 통해 가스라인에서 MFC를 제거하지 않고도 새로운 가스 보정 및 Full Scale Range 를 지원하여 공정 가동 시간 극대화
  • 간단하고 사용하기 편리하며 60초 내에 새 가스를 선택할 수 있는 MultiFlo™ 프로그래밍
  • 특정 가스와 범위 만 지원하는 MFC를 대체하여 소량의 Spare Parts 운용 가능
  • 우수한 계측 시스템 및 글로벌 표준에 기반한 보정을 통해 탁월한 공정 가스 정확성 지원
  • 탁월한 장기간 안정성을 제공하는 내식성 센서를 통해 최대의 수율과 처리량 보장
  • 사용자가 액세스할 수 있는 서비스 포트를 통해 문제 해결 및 진단 작업 간소화
  • 다양한 탄성중합체 실링을 통해 다양한 응용 분야에서 비용 성능 유연성 제공
  • 다중 프로토콜 통신 인터페이스로 기존 시스템과의 통합 지원

응용 분야

  • 태양전지 화학 기상 증착 시스템
  • 생명공학 Bioreactors
  • 진공 공정
  • 나노기술/MEMS 제조
  • 플라즈마, 유리 및 웹 코팅 시스템
  • 매니폴드/가스 공급 시스템을 위한 탁월한 옵션
{401C5C5F-E447-4C89-AE9A-7AB9531800B5}
상품 유형
질량 유량 제어기
{85D6B977-1CF9-4752-8A3D-4A1088016856}
특장점

높은 정확도

MultiFlo™ 기능

컴팩트한 크기

모든 가스에 적합

{4E6BA170-D9B9-4E88-B422-6E7D941017EB}
성능
{B8CBEAA1-9B67-4F93-8C9E-128F709C488F}
유량 범위(최대 용량)
3 sccm~50 slpm
{4091AF3B-8E51-462D-AB96-3C8C5F50CACB}
정확도
1% SP 35~100%, 0.35% FS 2~35% 
{430B01B9-6AC3-4A2E-A47E-3EE4A08AAC87}
반복성 및 재현성
0.20% SP
{279F2CEC-549F-4FEB-8417-236707ACE451}
선형성
±0.5% FS(정확도에 포함) 
 
{D598FBEC-ADC6-4536-B3FE-F81D371B5B9B}
응답 시간
Normally Closed Valve: 300 ms - <1초 
{55583860-F6FB-4C11-9221-42CEA7121314}
다중 가스 및 범위 구성
MultiFlo™ 사용 가능
{9B669EE1-BBCF-4001-A23E-82E1E01BD337}
제어 범위
2~100%
{595E4D12-1536-4B83-9EA7-07DC8C5FDD44}
Bin 개수
10개
{0EDA30F7-20EC-43A9-BB2F-971CE3D90ECF}
밸브 차단
Setpoint가1.5%FS  이하로내려갈 경우 밸브폐쇄
{F0FE01D0-412B-473D-B2A9-716EEFEBB8FB}
제로 안정성
연간 <±0.5% FS
{177D8BF4-A5BA-4507-A921-1CCC1217ACB6}
압력 계수
0.03%/psi(0~50psi N2)
{EDF6FC6E-51A3-471C-936C-0EAFAE78FF3E}
등급
{170B6E7F-8429-42D4-884E-8CDA7CA51329}
온도 범위
5~50̊°C(41~122°F) 
{7B7D20F0-4595-4BAB-A1F6-052EC6D9D08F}
최대 압력
150 psia/10 bar
{5B0169F5-649F-4B58-9FB4-EC506037713E}
차압 범위
3~860 sccm = 7~45 psid 
 
861~7200 sccm = 15~45 psid 
 
7201~55000 sccm = 25~45 psid 
 
*자세한 내용은 Brooks 기술 지원에 문의하십시오. 
{979D5D9B-7109-4C2E-9E3C-48AEF44743DA}
누출 무결성
1x10-10 atm. cc/sec He 
{B630BC60-9E07-427E-B377-5B0810A2B020}
기계적
{D3A18DDA-24FC-4D77-B17D-7D9C82FE20F4}
씰 재료
탄성중합체 실링
{B48DDCAE-901A-499D-9C22-FEEA1BE3CB6B}
표면 마감
32µ inch Ra
{A7F69D55-8885-4FA3-9030-108E9CF720AA}
습윤 재료
32µ 인치 Ra 
 
316 스테인리스강, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055 
{CE6916E3-668E-4AED-8555-49F4C1D958ED}
밸브
Normally Closed 
 
 
Normally Open 
 
 
계측기(밸브 없음)  
{4825F789-6AC0-452E-9B5A-D1B345D4D5C0}
진단
{E30F071F-D5C1-47C2-B303-2ED8AAAA9844}
진단 능력
사용 가능 
{87C6F242-81D8-4670-8268-FB09DB343DBC}
독립 진단 서비스 포트
사용 가능 
{FF050C1C-9989-499B-8DDD-D145556C5119}
전기
{DB7C7415-9565-4D3C-BF20-3004CB2E2DBC}
아날로그 통신
0~5 V, 0~10 V 
 
0~20 mA, 4~20 mA 
{F0D53125-7F59-4D1D-8A06-C458BD6D5F65}
디지털 통신

DeviceNet™ 

EtherCAT® 

Profibus® 

RS485

{EF8D242D-4752-40C5-8428-06E05B5D5044}
전기 연결
DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B) 
EtherCAT®: 5-pin M8 with threaded coupling nut/2 x RJ45 
Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D/1 x 9-pin female Sub-D 
RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A) 
{122753E9-9ECE-4B29-AD62-90D09D883D95}
전원 공급/소비
아날로그/RS-485 
 
+12 Vdc~+24 Vdc: 7 Watt/8 Watt 
 
DeviceNet™ 
 
+11 Vdc~+25 Vdc: 7 Watt/8 Watt 
 
 
 
EtherCAT®/Profibus® 
 
+13.5 Vdc~+27 Vdc: 7 Watt/8 Watt 
{F76C62CC-4EBB-4D9E-8BEB-C9196A1B4B50}
규정 준수
{D0EB512E-048B-46F6-B187-BB52DF7C2682}
인증/승인
CE: EN61326: 2006(FCC Part 15, 캐나다 CE 시험 IC 서브셋) 
 
안전성 EN61010-1 
{C411D614-A5D2-4FD1-BCB2-A4441DF2D33A}
환경 규정 준수
RoHS (2011/65/EU) 
 
REACH  EC 1907/2006 
{2B5B0F79-5BB4-4E84-BC1A-630F6CB50DB4}
크기
컴팩트
파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Data Sheet pdf English French German Japanese Spanish
Installation & Operation Manual pdf English Japanese
DeviceNet™ Supplemental Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF40/GF80 pdf English
Profibus® Supplemental Manual pdf English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual pdf English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual pdf English

CAD 파일 이름 예시: GF040 - N2 - S5

미터 시리즈
  장착
  통신 / 커넥터
GF040
  T1 - 1/8” tube compression
  P0 - Profibus / Analog (Input 0-20 mA; Output 0-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn.

 


0250 시리즈
최대 4개의 장치 제어 및 전원 공급
0260 시리즈
최대 30개의 장치를 제어 및 모니터링하고 최대 10개의 장치에 전원을 공급합니다.
MultiFlo™ Configurator
MultiFlo™ 가능 MFC를 가스 라인에서 제거하지 않고도 수천 가지 가스 유형 및 범위에 대해 구성할 수 있는 포괄적인 가스 데이터베이스입니다.
Brooks Expert Support Tool (BEST)
A Windows™ Brooks Instrument MFC 및 압력 컨트롤러의 확장된 제어를 제공하는 기반 응용 프로그램입니다.
Brooks LabVIEW™ DLL

사용자가 Brooks® 디지털 질량 유량 컨트롤러, 압력 컨트롤러 및 보조 전자 장치와의 통신을 설정할 수 있습니다. DLL은 LabVIEW™에서 자신의 어플리케이션을 생성할 때 사용됩니다.

Smart DDE Software
Dynamic Data Exchange 소프트웨어를 사용하면 Windows® 기반 응용 프로그램과 Brooks Instrument RS485 S-Protocol 장치 간에 양방향 링크를 만들 수 있습니다.